
電子無塵車間凈化亦稱為無塵室或清凈室。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪 音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
電子行業生產工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對純度和潔凈度要求高:
1、電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)
2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于百分之60,水平單向流潔凈室不應小于百分之40,否則就是局部單向流了。
3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa